廠家納米級(jí)光學(xué)干涉測厚儀

廠家納米級(jí)光學(xué)干涉測厚儀

納米級(jí)光學(xué)干涉測厚儀應(yīng)用：?PET、PE、PMMA等薄膜·離型膜·沉積膜·金屬表面漆膜涂層·膜涂層·塑料涂層產(chǎn)品簡介：PSD-2000型在線納米級(jí)光學(xué)膜厚儀利用光譜相干測量學(xué)，用于測量半導(dǎo)體制造過程中的薄膜厚度，以及安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備上的APC和薄膜的質(zhì)量控制，能夠測量單層/多層/涂布層在不透光基板上的厚度，精確度可達(dá)納米級(jí)。PSD-2000型在線納米級(jí)光學(xué)膜厚儀，其核心部件主要源自于美國Ocean Optics有限公司，其微型光譜儀體積小巧，可對全譜進(jìn)行快速采集，產(chǎn)品應(yīng)用廣泛，可用于生化、光電、航空航天、環(huán)境保護(hù)、安全檢測、農(nóng)業(yè)等行業(yè)，可進(jìn)行 Low-E玻璃鍍膜檢測，ITO玻璃鍍膜檢測，PET涂布在線膜厚檢測，金屬表面涂層檢測，半導(dǎo)體，LCD膜厚檢測等。
工作原理：?分光干涉法當(dāng)光入射到樣品內(nèi)部，會(huì)發(fā)生多重反射現(xiàn)象，多重反射光會(huì)由于相互之間的相位差增強(qiáng)或減弱，而相位差取決于樣品的折射率和光程，因此來自于樣本的反射光譜與其厚度有直接關(guān)系。光譜干涉法就是利用這種獨(dú)特的光譜分析出樣品的厚度，該厚度測量儀器根據(jù)測試范圍的不同主要使用曲線擬合和FFT兩種方法對光譜進(jìn)行分析。??適用前景：??PET薄膜厚度測量?涂層厚度測量，如HC，保護(hù)膜，光刻膠，OCA，離型膜等涂布厚度或克重的測量?用于包裝的PET表面介質(zhì)膜克重或膜厚測量?金屬表面透明和半透明漆膜涂層?產(chǎn)品優(yōu)勢：在線掃描式或多點(diǎn)測量（多達(dá)15點(diǎn)）同時(shí)測量通過光強(qiáng)波動(dòng)校正功能實(shí)現(xiàn)長時(shí)間穩(wěn)定測量提醒及警報(bào)功能(通過或失敗)反射(透射)和光譜測量同步測量多層厚度高速、高準(zhǔn)確度??參數(shù)：型號(hào)PSD-2000WPSD-2000PPSD-2000R可測膜厚范圍15 nm - 100 um2nm - 200 um200nm-3000um測量可重復(fù)性0.02?μm測量準(zhǔn)確±1%光源鎢鹵素?zé)魷y量波長380 - 1050 nm250 - 1050 nm900 - 1200 nm光斑尺寸約φ1?mm工作距離10?mm可測層數(shù)多10層分析FFT?分析，擬合分析測量時(shí)間19?ms/點(diǎn)外部控制功能Ethernet接口USB?2.0（主單元與電腦接口）；RS-232C（光源與電腦接口）電源AC100?V — 240?V,?50?Hz/60?Hz功耗約330W（2通道）~450W（15通道）??PSD-200實(shí)驗(yàn)室型納米級(jí)光學(xué)干涉測厚儀? ??用途：·太陽能減反膜玻璃，TCO玻璃，Low-E玻璃，ITO玻璃，光學(xué)玻璃鍍膜等測量?！ET膜透明膠膜厚測量·膜厚，顏色，粗糙度，透過率，反射率，霧度·可用于實(shí)驗(yàn)室離線測量技術(shù)水平：·精度0.1%，達(dá)到國際同類產(chǎn)品水平·檢測透明和半透明涂層·反射式太陽能玻璃的膜厚/折射率測量儀，具有測量速度快，測量準(zhǔn)確，操作簡便的特點(diǎn)。???技術(shù)參數(shù)：產(chǎn)品類型可見光紫外+可見光厚度測量15nm-100μm1nm-100μm折射率厚度要求100nm以上厚度要求50nm以上準(zhǔn)確性2nm或0.5%精度0.1nm測量時(shí)間小于1秒光斑大小大約1mm??軟件：
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