離子源廠家：離子源中和器的分類和功能

鑫立離子源廠家推薦離子源中和器的分類和功能

????? 中和器向由離子源引出的離子束發(fā)射電子，以中和電子束電流和電子束電荷。 離子源柵格引出帶正電的離子束。 為了避免電荷積聚在目標或處理表層上，必須中和離子束電流。 為了減少離子束中的空間電荷以繼續(xù)提取離子并減小羽流擴散角，必須中和離子束電荷。 因此，必須在放電室和柵極的外部安裝中和器，以向離子束發(fā)射等于束流的電子電流。

??????根據工作方式，可將離子源中和器分為三種：外部熱陰極中和器，浸入式熱陰極中和器和等離子橋中和器。 前兩種類型將熱陰極發(fā)射體放置在離子束的內部和外部。 當放置在室外時，中和器需要施加較高的負耦合電壓。 由束狀離子和中性原子進行電荷交換而產生的離子將轟擊并更嚴重地濺射。 當放置在內部時，盡管耦合電壓很低，但它會受到電子束轟擊而直接濺射。 這兩種類型的中和器的使用年限非常短，只有幾十個小時。 等離子體橋中和器使用帶有推進劑氣體的空心陰極在放電過程當中同時生成電子和離子。 當陰極受到反轟時，大多數離子與電子結合形成氣體。 少量離子與電子一起傳輸到離子束。 這些離子可以中和大多數電子形成的空間電荷，并充當電子進入離子束的“橋梁”。 下降耦合電壓，并使中和器遠離子光束。 等離子橋中和器的使用年限可以達到10,000 h以上，從而大大提高了離子源的維護周期和使用年限。