各種真空泵的極限真空度

發(fā)布時(shí)間：2026-04-14 07:49:07 來(lái)源：互聯(lián)網(wǎng) 分類：

文章摘要：本文介紹了多種真空泵類型及其極限真空度，包括機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、離子泵、分子泵、渦輪分子泵、旋片式機(jī)械真空泵、羅茨泵、油擴(kuò)散泵、低溫吸附泵及濺射離子泵等，并指出這些極限值在無(wú)負(fù)載條件下測(cè)得。各種真空泵的極限真空度如下：·機(jī)械泵。機(jī)械泵一般能達(dá)到1

本文介紹了多種真空泵類型及其極限真空度，包括機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、離子泵、分子泵、渦輪分子泵、旋片式機(jī)械真空泵、羅茨泵、油擴(kuò)散泵、低溫吸附泵及濺射離子泵等，并指出這些極限值在無(wú)負(fù)載條件下測(cè)得。

各種真空泵的極限真空度如下：

·機(jī)械泵。機(jī)械泵一般能達(dá)到10^-3Pa的極限真空度。

·擴(kuò)散泵。擴(kuò)散泵可以達(dá)到10^-7Pa的極限真空度，其中水環(huán)式擴(kuò)散泵可達(dá)到10^-1Pa的高真空度。

·離子泵。離子泵可以達(dá)到10^-9Pa的超高真空度，真空度可以達(dá)到10^-11Pa。

·分子泵。分子泵可以達(dá)到10^-10Pa的超高真空度，甚至可以達(dá)到更低的10^-11Pa或者更高的10^-8Pa。

·渦輪分子泵。渦輪分子泵的極限真空度可以達(dá)到10^-10Pa。

·旋片式機(jī)械真空泵。旋片式機(jī)械真空泵的極限真空度在10^-1Pa左右。

·羅茨泵。羅茨泵的極限真空度在10^-2Pa左右。

·油擴(kuò)散泵。油擴(kuò)散泵的極限真空度在10^-6Pa。

·低溫吸附泵。低溫吸附泵的極限真空度在10^-1Pa到10^-8Pa之間，取決于所采用的低溫溫度、吸附物質(zhì)的表層積、被吸附氣體的種類等因素。

·濺射離子泵。濺射離子泵的極限真空度與其他泵種串聯(lián)使用，可達(dá)10^-8Pa。

需注意的是，這些極限真空度是在沒(méi)有負(fù)載的條件下獲得的真空度，實(shí)際應(yīng)用中可能受到多種因素的影響。

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各種真空泵的極限真空度

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