一種使用年限更長的真空磁控濺射鍍膜機介紹

? 根據鍍膜工藝原理，真空鍍膜機大概可分為以下幾種：真空蒸發(fā)鍍膜機、真空磁控濺射鍍膜機、多弧離子鍍鍍膜機等。其中，真空磁控濺射鍍膜機主要是利用輝光放電將氬離子沖擊到靶材表層，等離子體中的陽離子會加速到襯底的負極表層，使靶材的原子噴射沉積在襯底上形成薄膜。目前市場上普遍的一種真空磁控濺射鍍膜機由抽氣系統(tǒng)、真空室、真空室門等組成。工作時，真空室中的氣體被抽氣系統(tǒng)抽走，使真空室持續(xù)處于負壓真空狀態(tài)，從而保證基板鍍膜的質量。工作結束后，工人需要打開真空室門，從真空室中取出襯底。真空室長期處于負壓狀態(tài)，真空室門很難打開。

　　鑒于現有技術的上述缺點，技術人員提供一種新型磁控濺射鍍膜機。它通過以下技術方案實現的：該真空磁控濺射鍍膜機包括真空室，真空室上設置有門體，真空室上設置有抽氣口，真空室外部設置有與抽氣口連通的抽氣系統(tǒng)，門體與真空室轉動連接，真空室上設置有助開組件，助開組件包括助開桿。其工作原理為，當基板鍍膜后需要將基板從真空室中取出時，抽氣系統(tǒng)與真空室外部的抽氣口斷開；然后打開鎖定組件，然后工人將開啟輔助桿的一端壓離門體，并將開啟輔助桿壓向遠離門體的方向。在按壓助開桿的端部遠離門體的過程當中，助開桿靠近門體的端部產生作用力，推動門體打開，最終推動門體打開。通過設置助開組件，當鍍膜工作結束后需要取出基板時，工作人員只需在打開鎖緊組件后按壓助開桿，即可將門體推離真空室，進而方便打開門體。

另外，在制作該磁控濺射鍍膜機要注意：助開桿靠近真空室的一端可轉動地設有滾輪，門體上設有供滾輪滑動的滑槽。助開桿上套裝有連桿，助開桿上設有用于將連桿固定在助開桿上的定位件。真空室還設有鎖緊組件，鎖緊組件包括固定設置在真空室上的固定件、固定設置在門體上的定位件和鎖緊螺栓，鎖緊螺栓的頭部抵靠在定位件遠離固定件的一側。

綜上所述，該真空磁控濺射鍍膜機具有以下有益的技術效果：1.通過設置開啟輔助組件，當鍍膜工作結束后需要取出基板時，工作人員只需在開啟鎖緊組件后按壓開啟輔助桿，即可將門體推離真空室，方便打開門體；2.通過優(yōu)化結構，一方面減小了助開桿對門體的摩擦力，從而節(jié)省了按壓助開桿時所需的力氣；另一方面，輔助開啟桿本身的摩擦力減小，延長了輔助開啟桿的使用年限。