文章摘要: 光譜共焦傳感器測(cè)量原理光譜共焦傳感器測(cè)量利用了像差透鏡偏差的物理現(xiàn)象。通過使用特殊的鏡片,可以擴(kuò)大不同顏色光的焦暈范圍,形成特殊的放大色差。根據(jù)被測(cè)物體與透鏡之間的距離,可以將波長(zhǎng)精確的光聚焦在被測(cè)物體上。通過測(cè)量反射光的波長(zhǎng),可以獲得物體
光譜共焦傳感器測(cè)量原理
光譜共焦傳感器測(cè)量利用了像差透鏡偏差的物理現(xiàn)象。通過使用特殊的鏡片,可以擴(kuò)大不同顏色光的焦暈范圍,形成特殊的放大色差。根據(jù)被測(cè)物體與透鏡之間的距離,可以將波長(zhǎng)精確的光聚焦在被測(cè)物體上。
通過測(cè)量反射光的波長(zhǎng),可以獲得物體和透鏡之間的精確距離。為了得到上述特殊的色差,必須在光譜共焦傳感器探頭上使用一些特殊的透鏡,按照要求的范圍分解光線。然后光譜共焦傳感器探頭發(fā)出的光被凸透鏡聚焦在一個(gè)軸上,形成所謂的聚焦軸。
白光通過半透鏡到達(dá)凸透鏡。這里可以產(chǎn)生特殊的色差。光束照射在被測(cè)物體上后,光譜共焦傳感器探頭的半透鏡通過凸透鏡返回。半透鏡將反射光折射至穿孔的蓋子上,因此它只能通過理想聚焦的反射光。通過孔蓋的光是一組模糊光譜,即一些不同波長(zhǎng)的光可以通過光圈照射至CCD光敏矩陣單元上。
光譜共焦傳感器特色
光譜共焦傳感器用于快速距離和厚度測(cè)量。不同的傳感器型號(hào)和控制器接口開辟了各種應(yīng)用領(lǐng)域,例如,半導(dǎo)體工業(yè)、玻璃工業(yè)、醫(yī)療工程和塑料生產(chǎn)。
光譜共焦傳感器幾乎各種表層的高精度位移和距離測(cè)量。即使在漫反射和反射面上,共焦色度測(cè)量原理也可以實(shí)現(xiàn)高精度的位移和距離測(cè)量。由于測(cè)量點(diǎn)的尺寸很小,因此可以檢測(cè)非常小的物體。軸向光路避免了陰影效應(yīng),即使在套筒和凹槽中也能進(jìn)行測(cè)量。
為了獲得較大精度,光譜共焦傳感器必須盡可能垂直于被測(cè)物體??烧{(diào)適配器用于快速將所有光譜與目標(biāo)對(duì)準(zhǔn)。也可以在傳感器安裝到機(jī)器后對(duì)其進(jìn)行校準(zhǔn)。工業(yè)適配器允許在X和Y軸上移動(dòng),并使傳感器向測(cè)量對(duì)象傾斜。
本文主要介紹光譜共焦傳感器的測(cè)量原理??梢灾拦庾V共焦傳感器是用于快速測(cè)距測(cè)厚的。光譜共焦傳感器測(cè)量利用了像差透鏡偏差的物理現(xiàn)象。通過使用特殊的鏡片,可以擴(kuò)大不同顏色光的焦暈范圍,形成特殊的放大色差。根據(jù)被測(cè)物體與透鏡之間的距離,可以將波長(zhǎng)精確的光聚焦在被測(cè)物體上。
光譜共焦傳感器原理
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