文章摘要: 沖擊加速度傳感器是由MEMS技術(shù)和微電子技術(shù)發(fā)展起來的,集加速度傳感器、信號(hào)轉(zhuǎn)換器、功率轉(zhuǎn)換器、信號(hào)濾波電路、飽和控制和溫度補(bǔ)償于一體,具有微體積、微功耗、微噪音、高集成度、高穩(wěn)定性、高可靠性、低溫度漂移、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)等特色。沖擊加速度傳感器廣
沖擊加速度傳感器是由MEMS技術(shù)和微電子技術(shù)發(fā)展起來的,集加速度傳感器、信號(hào)轉(zhuǎn)換器、功率轉(zhuǎn)換器、信號(hào)濾波電路、飽和控制和溫度補(bǔ)償于一體,具有微體積、微功耗、微噪音、高集成度、高穩(wěn)定性、高可靠性、低溫度漂移、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)等特色。

沖擊加速度傳感器廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)控制、汽車、地震測(cè)量、軍事和航天系統(tǒng)等領(lǐng)域。由于工作環(huán)境的限制,要求沖擊加速度傳感器具有較高的諧振頻率和良好的動(dòng)態(tài)性能,以保證被測(cè)物體的沖擊力或沖擊加速度可以快速準(zhǔn)確地測(cè)量出來。沖擊加速度傳感器的結(jié)構(gòu)形式有很多種,其中比較普遍的是立柱和膜片結(jié)構(gòu),沖擊加速度傳感器是一種中心有圓規(guī)和敏感質(zhì)量的膜片結(jié)構(gòu)。在接近圓形膜片邊緣應(yīng)變最大的位置,采用擴(kuò)散摻雜的方法,沿徑向110和切向110擴(kuò)散四個(gè)電阻值相同的電阻條,通過蒸鍍鋁電極將四個(gè)性能相同的電阻連接起來,形成惠斯頓電橋。
靈敏度的挑選
沖擊加速度傳感器的產(chǎn)品介紹中給出了參考范圍,方便用戶從眾多靈敏度不同的沖擊加速度傳感器中挑選合適的產(chǎn)品。最小加速度測(cè)量值也稱為最小分辨率??紤]到后置放大器電路的噪音問題,它應(yīng)該遠(yuǎn)離最小可用值,以確保最佳信噪比。
最大測(cè)量限值應(yīng)考慮沖擊加速度傳感器本身的非線性影響和后續(xù)儀器的最大輸出電壓。估算方法為:最大測(cè)量加速度×傳感器的電荷/電壓靈敏度。以上數(shù)值是否高于配套儀器的最大輸入電荷/電壓值,建議如果測(cè)得的加速度范圍已知,可以從傳感器指標(biāo)中的“參考范圍范圍”中挑選(考慮頻率響應(yīng)和重量)。同時(shí),在頻率響應(yīng)和重量允許的情況下,可以考慮靈敏度
頻率的挑選
沖擊加速度傳感器生產(chǎn)商給出的頻率響應(yīng)曲線用螺釘安裝。一般來說,曲線分為兩個(gè)部分:共振頻率和工作頻率。使用頻率給定值根據(jù)靈敏度偏差給出,分別為10%、5%和3dB。共振頻率一般是避免的,但也有一些特殊情況,比如軸承故障檢測(cè)。
沖擊加速度傳感器的頻率應(yīng)高于被測(cè)物體的振動(dòng)頻率,有倍頻分析要求的沖擊加速度傳感器頻率響應(yīng)更高。土木工程屬于低頻,加速度計(jì)可以挑選在0.2 Hz ~ 1 kHz左右。機(jī)械設(shè)備一般為中頻。頻率可以根據(jù)設(shè)備轉(zhuǎn)速、設(shè)備剛度等因素綜合估計(jì),可以挑選0.5 Hz ~ 5 kHz的加速度計(jì)。沖擊測(cè)量的頻率很高。
加速度傳感器的不同安裝方式也會(huì)改變頻率響應(yīng)(對(duì)振動(dòng)值影響不大)。安裝表層應(yīng)平整干凈,安裝挑選應(yīng)本著方便、安全的原則。加速度傳感器的重量和靈敏度與使用頻率成反比。它靈敏度高,重量大,使用頻率低,這也是挑選的技巧。想要了解更多微型加速度傳感器、加速度傳感器的內(nèi)容,可以關(guān)注我們。
沖擊加速度傳感器的挑選
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